产品特点及优势：在MEMS器件中应用广泛；采用低温（150~300^oC可选）烘烤 方式激活；支持~16G高振动条件要求；适用于多种材质的衬底；支持短时大气 环境下操作；可根据客户具体使用环境定制，提供应用系统兼容方案，支持各 种真空要求的行业应用。

产品主材质：Ti-Zr-V体系（型号APB570）、Ti-V体系（APB571）、Zr-Co（稀 土）体系（APB580）、Zr-V-Fe体系（APB581）、Zr-Y （APB561）体系等， 可根据客户具体使用要求及工况要求定制； 产品激活条件：采用低温烘烤方式激活，根据材质及膜厚温度在150~300^oC范 围内可选，激活时间根据使用情况不同推荐在20min~3h； 产品适应衬底材质：可伐合金、不锈钢、玻璃、陶瓷。