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复合泵通过协同设计结合了吸气剂泵和离子泵技术。一个吸气剂泵体作为主要的高真空泵，同时复合一个小型溅射离子泵（SIP）来去除惰性气体。由于复合泵对活性气体（水、二氧化碳、氮气等）具有很大的吸收能力以及集成的设计，新一代复合泵比具有类似标称抽速的SIP更小、更轻10到50倍。
复合泵主要应用于在高真空状态下和超高/极高真空状态下工作。
